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公司于2009年4月成立,是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业,主要研制、生产、再制造和销售高端离子注入机,重点应用于光伏太阳能电池,新型平板显示,和半导体集成电路领域。2016年新三板挂牌,2018年并入万业企业( 股票代码600641)。
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